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表2 - MEMS傳感器技術規范

上述的混合測斜系統可用于垂直和水平布置，并可用于收斂測量。
在垂直配置中，安裝傾斜儀系統的巖土體發生變形，導致管道變形，從而導致傳感纖維的壓縮和伸長。
因此，在安裝了該系統的巖土體中，沿著四根纖維的應變剖面的詳細測量，可以獲得管道的三維變形，或測斜剖面。
傾斜儀系統被適當地放入要監測的地面上的鉆孔中，并灌漿。一旦固化完成，第一次參考零點測量將作為后續測量的初始值。
相反的，混合技術中的測斜儀系統采用水平布置，即使在與地面平行的平面上也能測量位移和變形。該特征可用于監測滑坡前緣相對于其外部位置的水平位移。
如果系統被布置在隧道的斷面上，它可以進行較精確的收斂測量。
 
該混合式測斜儀具有通用性強、體積小、性能高的優點，較好克服了使用傳統儀器有關的限制，較好防止由相同的地面變形對系統造成的損害。